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原子層沉積系統(tǒng)廢標(biāo)公告

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    2024-11-08
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原子層沉積系統(tǒng)（清采比選20241378號(hào)）廢止公告
發(fā)布時(shí)間：2024-11-08 14:36:58閱讀量：25 次

比選廢止信息

比選廢止理由：用戶補(bǔ)充采購需求內(nèi)容

采購項(xiàng)目名稱原子層沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目編號(hào)清采比選*號(hào)
公告開始時(shí)間2024-11-08 14:36:58公告廢止時(shí)間2024-11-08 14:36:58
采購單位清華大學(xué)


采購清單1
物資名稱采購數(shù)量計(jì)量單位
原子層沉積系統(tǒng)1臺(tái)

單價(jià)￥ *
技術(shù)參數(shù)及配置要求反應(yīng)腔可以涂覆面積不小于6英寸，厚度不小于6mm的樣品。
采用DualO氮?dú)獗Ｗo(hù)的雙 O-Ring 高溫密封系統(tǒng)，隔絕其他氣體滲漏。
基底加熱溫度室溫到400℃可控，控制精度±1℃; 腔體烘烤溫度室溫到200℃可控，控制精度±1℃。
沉積模式包括以下2種工作模式：高速沉積的連續(xù)模式、沉積超高寬深比結(jié)構(gòu)的停流模式。
前驅(qū)體源 (略) ：1路為常溫源，1路為加熱源。加熱源加熱溫度室溫到200℃可控，控制精度±1℃，并配備高溫手動(dòng)閥。前驅(qū)體源應(yīng)至 (略) 接口。
標(biāo)準(zhǔn)前驅(qū)體源瓶體積不小于50cc， (略) 氣源， (略) 為常溫源可接水/臭氧/氧氣/氨氣/H2S源等，用于制備氧化物、氮化物和硫化物。 (略) 加熱源可接相關(guān)前驅(qū)體源。
(略) 全部采用316L不銹鋼 (略) ， (略) 加熱溫度室溫到150℃可控。
原子層沉 (略) 前驅(qū)體配置一個(gè)專用高速高溫原子層沉積閥；原子層沉積閥加熱溫度室溫到150℃可控。
范圍真空規(guī)測量范圍應(yīng)該覆蓋2x10-4到10+3torr。
(略) 加熱溫度室溫到150℃可控；配置截止閥一個(gè)，加熱溫度室溫到150℃可控。
設(shè)備需要高濃度臭氧發(fā)生器， (略) ，裂解器附件，最高產(chǎn)量大于15g/h，功率0~300W可調(diào)。
控制硬件應(yīng)采用PLC控制系統(tǒng)。
控制軟件應(yīng)采用專用軟件全自動(dòng)控制加熱、流量等全部沉積過程，并可以實(shí)時(shí)監(jiān)控溫度、壓強(qiáng)等。
應(yīng)采用真空機(jī)械泵連 (略) 。
質(zhì)保期36個(gè)月

清華大學(xué)

2024-11-08 14:36:58

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# 原子層沉積
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