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河海大學(xué)-競(jìng)價(jià)公告

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    2025-06-05
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正文內(nèi)容

申購(gòu)單號(hào):CB*
申購(gòu)主題:高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)
采購(gòu)單位:河海大學(xué)
報(bào)價(jià)要求:
發(fā)票類(lèi)型:增值稅普通發(fā)票
幣種:人民幣
預(yù)算:
簽約時(shí)間:
送貨時(shí)間:發(fā)布競(jìng)價(jià)結(jié)果后7天內(nèi)送達(dá)
安裝要求:免費(fèi)上門(mén)安裝（含材料費(fèi)）
收貨地址:江蘇省/ (略) / (略) /****
付款方式:貨到驗(yàn)收合格后付款
備注說(shuō)明:定制磁控濺射，并與手套箱集成。1.1用于制備：Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si、Cu、Fe、Ni、氧化鋁、氧化鈦、氧化鋯、ITO、AZO、氮化鉭、氮化鈦等。1.2多靶材傾斜共濺射的方式，可沉積混合物/化合物薄膜。1.3在濺射過(guò)程中加入氧、氮或其它活性氣體,可沉積形成靶材物質(zhì)與氣體分子的化合物薄膜。1.4設(shè)備簡(jiǎn)單易于控制、鍍膜面積大、薄膜附著力強(qiáng)，尤其適合高熔點(diǎn)和低蒸汽壓的材料。1.5磁控濺射技術(shù)是工業(yè)鍍膜的主要技術(shù)之一，易于科研成果轉(zhuǎn)化，是新技術(shù)向工業(yè)領(lǐng)域推廣的最經(jīng)濟(jì)有效的方法之一。申購(gòu)明細(xì)：

序號(hào)采購(gòu)內(nèi)容數(shù)量預(yù)算單價(jià)
1高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)1.0臺(tái)
品牌沈陽(yáng)科儀
型號(hào)PVD500
規(guī)格參數(shù)1.片內(nèi)膜厚均勻性：≤±5%。2.極限真空度：≤8x10-6Pa(經(jīng)烘烤除氣后)。3.抽速：30分鐘可達(dá)到6.6x10-4 Pa。4。真空室尺寸：500×500×550，真空室需選用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼材質(zhì)，表面電 (略) 理。5.磁控靶：3套，規(guī)格2英寸，強(qiáng)磁靶1套，永磁靶2套。6.直流電源500W，數(shù)量2臺(tái)。7.射頻電源500W，數(shù)量1臺(tái)。8.偏壓電源-200V，數(shù)量1臺(tái)。9.基片臺(tái)尺寸：4英寸，樣品臺(tái)爐絲溫度： 800℃±1℃（無(wú)氧環(huán)境）基片自轉(zhuǎn)速度：5～20轉(zhuǎn)/分。10.質(zhì)量流量控制氣：3路（氬氣、氧氣、氮?dú)猓┝髁繙?zhǔn)確度±1.5%F.S11.泵抽系統(tǒng)：脂潤(rùn)滑分子泵1臺(tái)，抽速不小于1300L/S，旋片真空泵1臺(tái)，抽速不小于13L/S。12.真空測(cè)量：復(fù)合真空計(jì)1臺(tái)：1x105Pa-1x10-7Pa13.工藝薄膜規(guī)0.1Torr（精度0.5%）14.設(shè)備具有智能控制系統(tǒng)，系統(tǒng)具有完備的自鎖、互鎖保護(hù)系統(tǒng)，并對(duì)關(guān)鍵部件有完備的故障報(bào)警及報(bào)警動(dòng)作保護(hù)措施，確保設(shè)備使用安全。系統(tǒng)采用配方式自動(dòng)工藝流程，提供開(kāi)放式工藝編輯、存儲(chǔ)與調(diào)取執(zhí)行，可實(shí)現(xiàn)真空獲得、控制溫度、鍍膜工藝、真空釋放等工藝的自由組合，并一鍵式全自動(dòng)運(yùn)行。所提供軟件要有軟件著作權(quán)。
質(zhì)保及售后服務(wù)在*方現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收后，一年內(nèi)免費(fèi)維修正常使用出現(xiàn)的故障，非正常的故障維修只核收工本費(fèi)，終身維修只核收工本費(fèi)

信息來(lái)自：http://**#/purchase/detail/1612a0da-a69f-40d6-b3d8-29f83db7199a
,河海大學(xué)

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